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4200-SCS型半导体表征系统

   2006-08-08   点击:140

　　4200-SCS型半导体表征系统带有脉冲I-V（PIV）封装，可以对器件进行精确建模和参数提取。该系统可以用于晶圆级测试、长期可靠性测试、失效分析、工艺监控和65 nm节点及以下工艺采用的高k材料诊断中。除了具有超短脉冲的测试能力之外，该系统还允许对DC器件参数进行实时测量与分析。系统带有一个双通道电压脉冲发生器，可产生窄达10 nsec的电压脉冲，并且输出幅值可达±40 V。
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