首页>  设备与材料 晶圆工艺 清洗 > 详细内容

顶棚过滤器

   2005-12-30   点击:475

　紧凑型设计的109BL系列机械化顶蓬过滤器可以安装在直角枝管型的顶部网格棚架结构上。全金属外罩的过滤器由铝制外框、预过滤装置、装有动力系统的送风机和高效微粒空气过滤模块构成。其平均风速达到90 ft/min。经测试对于直径为0.3微米的颗粒过滤器的过滤效率高达99.99%。设计中弯曲的送风机/电机被集成在装置背部。
　　Clean Air Products, www.cleanairproducts.com.


【复制链接】
相关文章
相关厂商
相关评论
更多
用户名：   密码：
剩余字数：120